?鎢燈絲掃描電鏡(SEM)是一種用于微觀形貌分析和微區(qū)成分分析的電子顯微鏡設備?。它通過向電子槍中的鎢燈絲施加高電壓,使其處于熱激發(fā)狀態(tài),進而激發(fā)出電子束。這個電子束在掃描線圈的磁場控制下,在樣品表面逐點掃描,激發(fā)出二次電子和背散射電子等物理信號,這些信號被探測器收集并放大后,調制成圖像?。鎢燈絲掃描電鏡的工作原理如下:電子發(fā)射:電子槍內的鎢燈絲在高電壓作用下被加熱至熱激發(fā)狀態(tài),發(fā)射出電子。電子束形成:發(fā)射出的電子經(jīng)過電磁透鏡系統(tǒng)的加速和聚焦,形成細小的電子束。電子束掃描:電...
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